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HFS5001小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現對傳感器的靈活配置與參數查詢。
產品特點：
機械尺寸：
技術參數：
| HFS5001 | ||
|
量程范圍 |
0～20,50,200,500,1000,或根據客戶需求定制 | sccm |
| 量程比 | >100：1 | |
| 精度 | ±（1.5±0.2FS） | % |
| 重復性 | ±0.75 | % |
| 零點輸出飄逸 | ±30 | mV |
| 輸出飄逸 | 0.16 | %/oc |
| 響應時間 | 100（默認，50，100，200，500，100設置） | ms |
| 工作電源 | 8~18Vdc,50mA | |
| 輸出方式 | RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc | |
| 流量壓損 | 900 | Pa |
| 流量壓力 | 0.8 | MPa |
| 工作溫度 | -5~+45 | oC |
| 存儲溫度 | -20~+55 | oC |
| 工作濕度 | <95%RH(無結冰、無凝露) | |
| 機械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉接模塊） | |
| 校準方式 | 空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa | |
| 重量 | 17.5 | g |
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